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低速運動平穩性動導軌作低速運動或微量位移時易產生摩擦自激振動，即爬行現象。爬行會降低定位精度或被加工工件表面的粗糙度的值。

導向精度 主要軌運動軌跡的度。影響導向精度的主要因素有：導軌的幾何精度和接觸精度，導軌的結構形式，導軌及其支承件的剛度和熱變形，靜（動）壓導軌副之間的油膜厚度及其剛度等。

剛度 包括導軌自身剛度和接觸剛度。主要取決于導軌的形狀、尺寸與支承件的連接方式及受力狀況等因素。

固體潤滑是將固體潤滑劑覆蓋在導軌的摩擦表面上，形成黏結型固體潤滑膜，以降低摩擦，減少磨損。固體潤滑劑種類較多，按基本原料可分為金屬類、金屬化合物類、無機物類和有機物類。
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